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PX系列簡介 漢鐘PX系列旋片泵簡化了真空泵的工藝結(jié)構(gòu)。油潤滑旋片設(shè)計，輔以的制作材料，配以*的精密制造，確保其在持續(xù)運行時可以獲得穩(wěn)定的高真空。高效的抽氣系統(tǒng)...
用途： Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant特點： 綠色制造、全新系列干式真空泵...
特點：較低的電能消耗。節(jié)能模式的應(yīng)用降低整體功耗。體積小，重量輕。節(jié)省了安裝空間。
用途： Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD, PECVD, LPCVD,ALD特點：IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)...
PA VSD+系列真空泵是一款節(jié)能，環(huán)保的永磁變頻微油螺桿真空泵。 ·高效能 得益于變頻驅(qū)動控制，PA VSD+可提供所需的流量而不會過量，避免浪費能源。新型的...
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