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PSM等離子體質量和能量分析質譜儀

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產品簡介

產品介紹INTRODUCTIONPSM是一臺差式泵質譜儀（In-LinePlasmaAnalysersforNeutrals,RadicalsandIonAnalysis），分析等離子過程中的二次離子和中性粒子

詳細介紹

PSM是一臺差式泵質譜儀（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。
差式泵歧管，通過法蘭與過程反應室連接
電子附著選件，具有可調諧的離子源，用于表觀電勢MS
Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布VS時間
標準分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 離子分析可選
靈敏度高 / 極穩定的3級過濾四極桿
質量數范圍：0 ~ 2500amu
脈沖離子計數檢測器，7個數量級的動態范圍
能量分析選件，標準 ±100eV（1000eV可選）
Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選，高壓操作可選
通過RS232、RS485或Ethernet LAN ，軟件MASsoft 控制