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招遠普斯瑪等離子技術有限公司


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太陽能電池等離子刻蝕機

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參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號ICP-500T

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地煙臺市

化工機械設備網采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2016-06-23 15:16:52瀏覽次數：372次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：11條

所在地區：山東煙臺市

聯系人：張經理 （銷售經理）

產品簡介

用于太陽能電池硅片邊緣刻蝕制程，采用*的高密度等離子（ICP），刻蝕速率高，全進口配置組裝。

詳細介紹

◆ 外形尺寸（不包括報警燈）  

1350（W）×800（D）×1750（H）mm

 ◆ 倉體結構（鋁，約125升）

500（W）×500（D）×500（H）mm

 ◆ 旋轉平臺

Φ 400mm ，轉速可調節

  ◆ 等離子發生器（美國）

頻率13.56MHZ,功率0-1250W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作

 ◆ 控制系統

觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統（真空壓力PID閉環自動控制）

前級泵/ 英國愛德華爪式干泵 GV80

二級泵/ 英國愛德華羅茨泵  EH250（70L/S）  

美國MKS真空壓力控制節流閥及薄膜式傳感器     

中國臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管 

◆ 充氣系統

美國MKS高精度電子質量流量計（四路氣體配制）

美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

日本SMC及CKD高真空氣閥組件


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