LAM796-055344-005

特點

• 流量范圍：3 slpm （去離子水蒸汽）

• 具有超高流量精度的直接水蒸汽測量

• 能直接連接到廠房去離子水供應系統

• 在較低溫度下可操作（非過熱狀態）

• 沖刷和排水的優化設計

• EtherCAT數字通訊

• Brooks Expert Support Tool (BEST)圖形用戶界面

優勢

• 采用了成熟可靠的熱式質量流量測量和控制技術

• 適用于各種FAB去離子水供水的壓力

• 接液件耐腐蝕性能增強

• 確保更清潔的操作

• 可匹配各種設備的模擬或數字通訊接口

• 直接用戶界面可增強數據收集或故障排查

應用

• 硅材料半導體金屬刻蝕后段工藝

• 硅材料半導體金屬剝離工藝

• 在負大氣壓的環境中超高純加濕

LAM797-800733-100半導體機臺配件MFC649B-32597

深圳市天鉉真空技術有限公司

SEC-Z11DWM [ 堀場 STEC ]

質量流量控制器 SEC-Z11DWM SHI4 50SCCM

SEC-N112MGM [ 堀場 STEC ]

質量流量控制器 SEC-N112MGM N2 300SCCM B-14W3 9P 3

SEC-Z719JX [ 堀場 STEC ]

質量流量控制器 SEC-Z719JX SICL4 100SCCM BLK-C 9P

SEC-N112MGM [ 堀場 STEC ]

控制器TRIAS EX2 MFC11 NH3 1SLM

GP-Z104-C [ 堀場 STEC ]

真空計 GP-Z104 0.1TORR

美國BROOKS布魯克斯5850E氣體流量計 美國MKSDLT4B-34749氣化機器MFVC-33167流量校準計MFVC-29886

深圳市天鉉真空技術有限公司

Coastal Instruments 成立于1980年，是國內專業的流量計服務商。致力于進口質量流量計、壓力傳感器等壓力測量器件的校準、維修及銷售服務。其技術*、高可靠性及誠信使其成為行業的，是專業的MFC技術服務商。

深圳市天鉉真空技術有限公司 專門經營進口氣體質量流量計銷售，全套校準，一年質保期。

本公司專業銷售質量流量計近40年，具有豐富的銷售和售后服務經驗，我們有專業的服務團隊和專業工程師對產品進行跟蹤服務。
具體產品參數，價格請詢價

本公司主要經營的品牌有：

HORIBA

MKS

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UNIT

AERA

MKS

MYKROLIS

MILLIPORE

SAM

STEC

BRONKHORST

美國BROOKS布魯克斯5850E進口氣體流量計

BROOKS 5850E  5851E  SLA5850S SLA5851S SLA5853S 5850S 5851S 5853S GF120CXXC GF125CXXC GF100CXXC

HORIBA IV-2410AV-03/3030-10059噴射閥

七星華創流量計D07-7B氬氣100sccm***深圳市天鉉真空技術有限公司

Fil-tech G8136P/1美國FIL-TECH 離子規真空規

Fil-tech品牌以下產品都可預訂，歡迎咨詢

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UE壓力開關 E48W-H76 E48W-H77 PV48W-17 P36W-17/04-716704-01

美國FIL-TECH 對流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/101GG