JSM-F100集成了備受推崇的In-lens Schottky Plus Gun和電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine，一個新開發(fā)的操作GUI“SEM Center"和一個創(chuàng)新的Live-AI filter, 實現(xiàn)了高空間分辨率成像觀察和高可操作性。JSM-F100的工作效率比之前的JSM-7000系列高50

詳細介紹

◇ 新操作導(dǎo)航SEM Center-集成了EDS操作

新開發(fā)的操作GUI“SEM Center"將SEM成像觀察和EDS分析整合在一起，實現(xiàn)了圖像觀察和元素分析的無縫數(shù)據(jù)采集。

◇ 新功能Zeromag

“Zeromag"，結(jié)合了從光學(xué)圖像到SEM成像的無縫轉(zhuǎn)換，很容易定位試樣目標微區(qū)。

◇ 新功能Live-AI filter(實時圖像視覺增強器人工智能過濾器) option

配備人工智能Live-AI filter。與圖像集成處理不同，這種新的過濾器可以顯示無縫移動的實時圖像，沒有殘留圖像。這種的特征對于快速搜索觀察區(qū)域、聚焦和消像散調(diào)整非常有效。

◇ In-lens 肖特基-Plus場發(fā)射電子槍(FEG)

電子槍和低像差聚光鏡的增強集成實現(xiàn)了更高的亮度。能夠有效收集電子槍產(chǎn)生的電子，即使低加速電壓下也能得到數(shù)pA-數(shù)十pA的電流，支持高分辨觀察、高速元素分析和EBSD分析。

◇ 混合透鏡(HL)

混合透鏡(HL)是靜電和電磁場透鏡的組合，支持從磁性材料到絕緣體等各種樣品的高空間分辨率成像和分析

◇ Neo Engine

Neo Engine是一種前沿的電子光學(xué)控制系統(tǒng)，在自動功能的精度上有了顯著的提高，可操作性也更高。即使變更電子光學(xué)條件，光軸也不偏差，操作性和觀察精度大幅提高。可以說是JEOL電子光學(xué)技術(shù)的結(jié)晶。

◇ ACL

JSM-F100包括一個光闌角孔優(yōu)化透鏡(ACL)。ACL抑制入射電子的擴散，以始終保持最小的探頭。這是通過對孔徑角度的優(yōu)化控制來實現(xiàn)的，以適應(yīng)探頭電流的大變化，使掃描電鏡的操作包括高分辨率成像和x射線分析順利進行。

◇ 檢測器

4個檢測器。標配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可選件RBED、USD

UED and USD

RBED and SED

分辨率(1 kV)	1.3納米
分辨率(20 kV)	0.9納米
加速電壓	0.01至30 kV
標準檢測器	高位電子檢測器(UED)，二次電子檢測器(SED)
電子槍	浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍
探頭電流	幾pA至300 nA (30 kV) 幾pA至100 nA (5 kV)
物鏡	混合式透鏡(HL)
樣品臺	全優(yōu)中心(eucentric)測角儀樣品臺
樣品移動	X軸：70毫米，Y軸：50毫米，Z軸：2至41毫米傾斜： –5至70°，旋轉(zhuǎn)：360°
EDS檢測器	能量分辨率：133 eV或更低可檢測元素：B（硼）至U（鈾）