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鄭州科探儀器設備有限公司


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鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2025-01-08 07:36:16瀏覽次數:42次

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產品簡介

鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。

詳細介紹

    鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。

      鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀通過定時調節預熱功率及蒸發功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

設備名稱

小型濺射儀

小型蒸鍍儀

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

工作電源

直流濺射電源

直流熱蒸發電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

≤1500W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

電壓≤12V  電流≤100A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

腔體真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

石英腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

70-140mm

蒸發坩堝容積

3ML

蒸發溫度調節

≤1600℃

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口

可選配擴展

1 膜厚在線測試    2 分子泵


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