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上海洛豐精密檢測儀器有限公司


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NewView9000白光掃描干涉儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號NewView900

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間:2025-03-10 10:20:51瀏覽次數(shù):91次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:266條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:馬經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

NewView 9000系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強(qiáng)大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測量分析。測量過程都無損、快速,并且不需要樣品制備。強(qiáng)大的分析軟件可以精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。使用zygo的相干掃描干涉技術(shù),NewView 9000系列輪廓儀可以很容易的測量各種材質(zhì)表面,包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。

詳細(xì)介紹

系統(tǒng)參數(shù):

原理非接觸、三維白光掃描干涉儀。

掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器。

物鏡: 1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X, 工作距離分別有標(biāo)準(zhǔn)/長焦/超長焦詳見物鏡參數(shù)表。
物鏡座選件: 電動4位塔臺可選。
視場放大倍數(shù):高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭:0.5X,1.0X,2.0X。
成像放大視場:電動3位系統(tǒng)成像放大0.04-16mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范     圍。
光源: 特殊設(shè)計(jì)長壽命白光LED。
◆控制:濾光板托架,視場光闌(輔助聚焦)。
測量陣列:1600×1600。
樣件觀察:專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)觀察。
精密聚焦:電控手動和自動聚焦
Z 軸驅(qū)動(聚焦):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動,100mm行程,0.1um的精度
樣品臺: 電動,俯仰±3°和XY平移(±76mm)
計(jì)算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL計(jì)算機(jī)
軟件: 在Microsoft Windows7下運(yùn)行的ZYGO Mx軟件
尺寸(HWD): 總尺寸:151×73×61cm; newview:75x64x56cm; 防震臺:76x61x61cm
◆總重量: 約229Kg; newview:約91Kg
性能:
縱向掃描范圍:150 um,可擴(kuò)展到20mm
縱向分辨率:<0.08nm
橫向分辨率:0.34-16.42um 與所選物鏡有關(guān)
掃描速度: ≥150 um/sec,與所選的CCD和掃描模式有關(guān)
◆RMS重復(fù)性:<0.008nm, RMSσ
臺階測量:準(zhǔn)確度 ≤ 0.8%;重復(fù)性≤0.1%@1σ 
被測樣品特性:
材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
尺寸(HWD):89 x 203 x 203mm 或更大
反射率:0.05%-99%
環(huán)境要求:
溫度: 15-30℃  <1.0°C/15 分鐘
濕度: 相對濕度 5%-95%,無凝結(jié)
隔振:需要隔離 1-120Hz 的振動(VC-C)

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