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場發射掃描電鏡SIGMA 500

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產品型號SIGMA 500

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廠商性質其他

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更新時間：2025-03-10 07:58:17瀏覽次數：20次

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司

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產品簡介

蔡司公司推出的Sigma 500場發射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學系統設計，分辨率超過0.8nm，為您提供優秀分辨率和分析性能科研平臺。Sigma500專注于的EDS幾何學設計使您可以獲取的分析性能。借助Sigma直觀便捷的四步工作流程可以快速成像、簡化分析程序、提高工作效率。您會比以往更快、更多的獲取數據。多種探測器的選擇使Sigma500可以精準的匹配您的應用程序：您可以獲取微小粒子、表面、納米結構、薄膜、涂層和多層的圖像信息。

詳細介紹

用于清晰成像的靈活探測：

◆利用探測術為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。

◆利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。

◆利用新一代的二次探測器，獲取高達50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創新的 C2D 和可變壓力探測器，在低真空環境下獲取高達85%對比度的銳利的圖像。

自動化加速工作流程：

◆4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環境中，從快速成像和節省培訓首先，先對樣品進行導航，然后設置成像條件。

◆首先，先對樣品進行導航，然后設置成像條件。

◆接下來對樣品感興趣的區域進行優化并自動采集圖像。最后使用工作流程的步，將結果可視化。

高級分析型顯微鏡：

◆將掃描電子顯微鏡與基本分析相結合：Sigma 的背散射幾何探測器大大提升了分析性能，特別是對電子束敏感的樣品。

◆在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數據。

◆8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結果。

靈活的檢測器選項，獲取清晰圖像：

◆使用新穎的ETSE和Inlens探測器在高真空下獲取高分辨率表面形貌信息。

◆使用VPSE或C2D檢測器在可變壓力模式下獲得清晰圖像。

◆使用aSTEM檢測器生成高分辨率透射圖像。

◆使用HDBSD或YAG檢測器分析成分。

技術參數：

分辨率：	1.0nm@30kV STEM	1.0nm @15 kV	1.8nm @1kV
加速電壓	0.02—30KV
放大倍數	10—1000000x
探針電流	調整范圍：0.02-30 kV（無需減速模式實現）
X-射線分析工作距離	8.5mm 35度接收角
低真空壓力范圍	2-133Pa （Sigma 300VP可用）
工作室	365 mm（φ），275mm（h）
5軸優中心自動樣品臺	X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360°連續
系統控制	基于Windows 7 的SmartSEM操作系統
存儲分辨率	32,000 x 24,000 pixels