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微電子所在新型納米環(huán)柵CMOS工藝與器件技術(shù)方面獲進展

2023-10-24 11:21:49微電子研究所閱讀量:396 我要評論


  隨著集成電路制造技術(shù)持續(xù)演進,堆疊納米片環(huán)柵場效應(yīng)晶體管(Stacked Nanosheets GAA FET)在3納米以下節(jié)點將替代傳統(tǒng)鰭型晶體管(FinFET),進一步推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。然而,面對大規(guī)模制造的需求,GAA晶體管技術(shù)需突破N型與P型器件工作電流(Ion)嚴重失配和閾值電壓(Vth)調(diào)控困難等挑戰(zhàn)。這對納米片溝道材料和高κ金屬柵材料提出了更多的技術(shù)創(chuàng)新要求。因此,針對GAA晶體管進行器件結(jié)構(gòu)創(chuàng)新,已成為未來邏輯器件工藝研究的重要方向。
 
  近日,中國科學(xué)院微電子研究所先導(dǎo)中心研究員殷華湘團隊基于主流GAA晶體管的制造工藝,在體硅襯底上通過調(diào)整SiGe/Si疊層外延中底部SiGe層的Ge含量,并在后柵溝道中采用納米級高選擇比SiGe層刻蝕技術(shù),設(shè)計并制備出溝道結(jié)構(gòu)類似魚骨狀的GAA器件(FishboneFET)。
 
  由于在傳統(tǒng)堆疊Si納米片間引入額外的應(yīng)變SiGe nano-fin結(jié)構(gòu),在相同的平面投影面積下大幅增加了GAA器件中的溝道導(dǎo)電面積并提升了P型器件的驅(qū)動性能。相比同類型的樹型(Tree-like)GAA器件(TreeFET),該研究設(shè)計的FishboneFET進一步改善了N型與P型器件的電學(xué)性能失配問題,并利用單一功函數(shù)金屬柵材料實現(xiàn)了面向CMOS器件的閾值調(diào)控,解決了FishboneFET晶體管在CMOS集成中的關(guān)鍵問題。
 
  基于上述創(chuàng)新技術(shù),科研團隊研制出兼容主流GAA器件工藝的CMOS FishboneFET和TreeFET器件,獲得高的N/PFET器件電流開關(guān)比,在單一功函數(shù)金屬柵下獲得更為平衡的N型與P型GAA器件驅(qū)動性能匹配。研究發(fā)現(xiàn),N型TreeFET和FishboneFET在抑制短溝道器件的漏致勢壘降低(DIBL)效應(yīng)上更具優(yōu)勢,且TreeFET較FishboneFET具有更低的DIBL效應(yīng)。科研團隊提出了應(yīng)變SiGe nano-fin中的價帶補償理論,解釋了新結(jié)構(gòu)中的特殊電學(xué)效應(yīng),為新型GAA晶體管導(dǎo)入高性能CMOS集成電路應(yīng)用建立了關(guān)鍵技術(shù)路徑。
 
  近日,相關(guān)研究成果以Investigation of Fabricated CMOS FishboneFETs and TreeFETs With Strained SiGe Nano-Fins on Bulk-Si Substrate為題,發(fā)表在《電氣和電子工程師協(xié)會電子器件快報》(IEEE Electron Device Letters)上,并被選為主編重點推薦和“亮點文章”(Editors' Picks)。研究工作得到中國科學(xué)院戰(zhàn)略性先導(dǎo)專項(A類)和國家自然科學(xué)基金委員會等的支持。
 
 
  (a)新型FishboneFET與TreeFET結(jié)構(gòu)的TEM結(jié)果;(b)堆疊SiGe/Si層中SiGe材料雙端刻蝕深度隨Ge含量變化趨勢;(c)100nm柵長器件的Ids-Vgs特性@Vdsat=±0.9V;(d)器件的DIBL效應(yīng)隨柵長變化關(guān)系;(e)Si NS和應(yīng)變SiGe nano-fin的能帶示意圖。
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